飛秒激光雙光子聚合加工技術(shù)具有高精度、真三維、工藝簡單等特色,可以實現(xiàn)分辨率突破光學(xué)衍射極限的微納米三維結(jié)構(gòu)的打印,被廣泛用于聚合物、有機-無機混合材料、生物相容材料的加工。
但是該加工技術(shù)基于逐點格柵掃描的加工模式加工效率較低,限制了其進一步應(yīng)用。中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)精微納米工程實驗室吳東教授課題組針對此做出了研究。
圖1 圖(a)(b)(c)為SLM生成圖形化光場,(d)(e)(f)為時域平均后的圖形化光場
圖2 SLM控制單點掃描得到的里約奧運會LOGO
圖形化光場投影加工雖然可以快速加工二維微納米結(jié)構(gòu),通過對閃耀光柵和球面波因子函數(shù)的編碼排序,實現(xiàn)了飛秒激光焦點沿著預(yù)設(shè)的三維路線上的可控掃描加工,并對掃描工藝參數(shù)進行了定量化研究,從而實現(xiàn)了三維結(jié)構(gòu)的單點掃描加工(如圖2)。